BS 5207:1975
电气设备用六氟化硫规范

Specification for sulphur hexafluoride for electrical equipment

2005-12

标准号
BS 5207:1975
发布
1975年
发布单位
SCC
替代标准
BS EN 60376:2005
当前最新
BS EN IEC 60376:2018
 
 
适用范围
装在钢瓶中用作绝缘、冷却和电弧中断介质。杂质的允许限度包括水、四氯化碳、氧气、氮气、可水解氟化物、油、酸性成分和有毒杂质。取样技术和试验方法。

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概述六氟化硫的广泛用途

作为良好的气体绝缘体，被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗优质单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。...


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