NS-EN ISO 14644-1:1999
洁净室和相关受控环境 第1部分：空气洁净度分类（ISO 14644-1:1999）

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness (ISO 14644-1:1999)

被代替

标准号

NS-EN ISO 14644-1:1999

发布

1999年

发布单位

SCC

替代标准

NS-EN ISO 14644-1:2015

当前最新

NS-EN ISO 14644-1:2015

 

 

适用范围

ISO 14644 的这一部分仅根据空气中颗粒物的浓度对洁净室和相关受控环境中的空气洁净度进行分类。只有累积分布基于阈值（下限）尺寸范围从 0.1 毫米到 5 毫米的颗粒群才可用于分类。ISO 14644 的这一部分不提供指定颗粒尺寸范围（0.1 毫米到 5 毫米）之外的颗粒群的分类。超细颗粒（小于 0.1 毫米的颗粒）和大颗粒（大于 5 毫米的颗粒）的浓度可分别用于以 U 描述符和 M 描述符的形式量化这些颗粒群。ISO 14644 的这一部分不能用于表征空气中颗粒的物理、化学、放射性或生存性质。注：增量尺寸范围内的颗粒浓度的实际分布通常是不可预测的，并且一般会随时间而变化。

NS-EN ISO 14644-1:1999相似标准

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