GSO ISO 20146:2021

Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges

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标准号

GSO ISO 20146:2021

发布

2021年

发布单位

GSO

当前最新

GSO ISO 20146:2021

 

 

This document defines terms related to capacitance diaphragm gauges (CDGs), specifies which parameters have to be given for CDGs, details their calibration procedure and describes ...

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