用沈阳科晶自动化设备有限公司制造的小型金刚石线切割机STX-202A加φ0.42㎜粗的金刚石线将试样棒切割成3㎜厚的圆片,切割过程中用切割专用油对试样进行冷却,切割完成的圆片如图6所示。由图6可见,用金刚石线切割机切割出来的样品表面无用电火花线切割机切割时由于热灼伤所产生的氧化皮,且切割后的表面平行度好,更有利于下一步的磨抛过程的进行。...
设备、工模具:超声波清洗机、多线切割机、电瓶堆垛车、吹风机、铲刀、电子秤等 材料:硅块、粘接剂、卷纸、酒精、钢线、砂浆等 工艺—硅片清洗 在硅片清洗前,对切割后的硅片进行预清洗,将硅片从模板上清洗下来。硅片清洗使用清洗剂、醋酸、纯水清洗,去除粘接剂和各种表面杂质,得到清洁的硅片。 设备、工模具、材料:硅片预清洗设备、硅片清洗机、清洗剂、醋酸、纯水多晶硅片、硅片盒等。 ...
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