T/QGCML 396-2022由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2022-10-10,并于 2022-10-17 实施。
T/QGCML 396-2022在国际标准分类中归属于: 23.100.01 流体动力系统综合。
本文件规定了线切割后清洗机的术语和定义、材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输及贮存。 本文件适用于硅片线切割后清洗机(以下简称清洗机)的生产和检验。
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