T/ZZB 0639-2018
氧化锌铝磁控溅射靶材
Alumium doped zinc oxide magnetron sputtering targets
T/ZZB 0639-2018 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- T/ZZB 0639-2018
- 发布
- 2018年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/ZZB 0639-2018
- 本标准规定了氧化锌铝磁控溅射靶材的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺等。 本标准适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能Low-E玻璃的功能介质层以及薄膜太阳能电池透明电极层等膜层的氧化锌铝磁控溅射靶材。
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