T/CESA 1081-2020
半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求

Assessment requirements for green factory in semiconductor integrated circuit manufacturing - Wafer


T/CESA 1081-2020 中,可能用到以下仪器设备

 

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T/CESA 1081-2020

标准号
T/CESA 1081-2020
发布
2020年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CESA 1081-2020
 
 
本标准规定了半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价(以下简称“评价”)的原则、方法、指标体系及要求、程序等。 本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价,其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。

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T/CESA 1081-2020 中可能用到的仪器设备





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