T/CESA 1081-2020
半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求
Assessment requirements for green factory in semiconductor integrated circuit manufacturing － Wafer
T/CESA 1081-2020 发布历史
T/CESA 1081-2020由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2020-06-20，并于 2020-07-06 实施。
T/CESA 1081-2020在国际标准分类中归属于: 13.020.01 环境和环境保护综合。
T/CESA 1081-2020的历代版本如下：
- 2020年 T/CESA 1081-2020 半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求
本标准规定了半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。 本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。
