GB/T 15861-1995
离子束蚀刻机通用技术条件
Generic specification of ion beam etching system
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- 标准号
- GB/T 15861-1995
- 发布日期
- 1995年12月22日
- 实施日期
- 1996年08月01日
- 废止日期
- 2013-02-15
- 中国标准分类号
- L97
- 国际标准分类号
- 31.200
- 发布单位
- CN-GB
- 代替标准
- GB/T 15861-2012
- 适用范围
- 本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。 本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。
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