GB/T 15861-1995
离子束蚀刻机通用技术条件已作废

Generic specification of ion beam etching system

GB/T 15861-1995 发布历史

本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。 本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。

GB/T 15861-1995由国家质检总局 CN-GB 发布于 1995-12-22，并于 1996-08-01 实施，于 2013-02-15 废止。

GB/T 15861-1995 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备，在国际标准分类中归属于: 31.200 集成电路、微电子学。

GB/T 15861-1995的历代版本如下：

• 1995年12月22日 GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件
• 2012年11月05日 GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范

GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件 于 2012-11-05 变更为 GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范。

标准号

GB/T 15861-1995

发布日期

1995年12月22日

实施日期

1996年08月01日

废止日期

2013-02-15

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31.200

发布单位

CN-GB

代替标准

GB/T 15861-2012

适用范围

本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。 本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。

GB/T 15861-1995系列标准