GB/T 15909-1995
电子工业用气体 硅烷(SiH4)
Gas for electronic industry--Silane
GBT15909-1995, GB15909-1995
2010-05
GB/T 15909-1995 中，可能用到以下仪器
GC-2014C岛津气相色谱仪 适用于测定气体样品（如：He、H2、N2 和 Ar ）中的微量一氧化碳（CO）、甲醇（CH4）和 二氧化碳（CO2）
岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司
- 标准号
- GB/T 15909-1995
- 别名
- GBT15909-1995
GB15909-1995 - 发布
- 1995年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 15909-2009
- 当前最新
- GB/T 15909-2017
- 本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。 本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。 分子式：SiH4 相对分子质量：32.117（按1991年国际相对原子质量）。 101.3kPa下的沸点：-112℃ 20℃和...
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关于氯硅烷的基本信息介绍
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