GB/T 15909-1995
电子工业用气体 硅烷(SiH4)
Gas for electronic industry--Silane
GBT15909-1995, GB15909-1995
GB/T 15909-1995 发布历史
GB/T 15909-1995由国家质检总局 CN-GB 发布于 1995-12-20，并于 1996-08-01 实施，于 2010-05-01 废止。
GB/T 15909-1995 在中国标准分类中归属于: G86 工业气体与化学气体，在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。
GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)的最新版本是哪一版？
最新版本是 GB/T 15909-2017 。
GB/T 15909-1995的历代版本如下：
- 2017年 GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
- 2009年 GB/T 15909-2009 电子工业用气体.硅烷(SiH4)
- 1995年 GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。 本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。 分子式：SiH4 相对分子质量：32.117（按1991年国际相对原子质量）。 101.3kPa下的沸点：-112℃ 20℃和101.3kPa下气体密度：1.342kg/m。 -185℃下液体密度：711kg/m。
- 标准号
- GB/T 15909-1995
- 别名
- GBT15909-1995
GB15909-1995 - 发布
- 1995年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 15909-2009
- 当前最新
- GB/T 15909-2017
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