GB/T 17865-1999
焦深与最佳聚焦的测量规范
Specification for measuring depth of focus and best focus
GBT17865-1999, GB17865-1999
- 标准号
- GB/T 17865-1999
- 别名
- GBT17865-1999
GB17865-1999 - 发布
- 1999年
- 采用标准
- SEMI P25-1994 IDT
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 17865-1999
- IC行业中的光刻及光掩模制造工艺需要对IC光刻设备如光学图形发生器、分步重复精缩机、分步重复投影光刻机、扫描曝光系统等（以下简称为设备）的聚焦深度、像散和场畸变进行测量并提出报告，本标准解释他们常用的术语的含义和所用的基本技术。 本标准只涉及集成电路生产中所用的光刻技术及其关系密切的技术的聚焦与焦深测量问题。由于设备技术多种多样，因而不可能提出...