作为良好的气体绝缘体,被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂,广泛应用于微电子技术领域,用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源,在制造低损耗优质单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。...
六氟化硫气体的电气绝缘性能和灭弧性能非常强。六氟化硫的分子量是空气的5倍,因此六氟化硫离子在电场中的运行速度比空气中的氮、氧等离子小得多,更容易发生复合性,氟离子使气体带电质点减少,大大提高气体的绝缘水平,约为空气的3倍。氟元素是所有元素中对电子亲和合力强的,所以六氟化硫具有很强的电负性,对电子吸引能力极大,极易形成负离子,所以六氟化硫气体的灭弧性能是空气的100倍。...
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