DIN EN 62047-1:2006
半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义(IEC 62047-1-2005)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2005); German version EN 62047-1:2006
- 标准号
- DIN EN 62047-1:2006
- 发布
- 2006年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN 62047-1:2016
- DIN EN 62047-1 E:2014-05
- 当前最新
- DIN EN 62047-1:2016-12
- 被代替标准
- DIN IEC 62047-1:2003
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