【引言】薄膜场效应晶体管作为可穿戴柔性电子器件的重要组成部分,其所有的组成部分以及材料都必须是可拉伸并且具有一定机械强度的。尽管近几年在柔性导体的研究上已经有了较大的进展,但是目前为止,柔性半导体的实现方法主要是集中在材料的应变调节或者在弹性体里混合纳米纤维或纳米线。另外的替代方案是直接使用本身就具有柔性的半导体材料,这样就可以用标准工艺制作柔性电子器件设备。...
(d)拉伸应变状态和无应变状态下器件的变光强开压测试。(e) 拉伸应变状态和无应变状态下器件的电化学阻抗谱(EIS)。(f) 拉伸应变状态和无应变状态下器件的不同偏压下的复合阻抗图。图4:不同应变状态下钙钛矿薄膜的电子结构分析(a) 拉伸,无,压缩应变状态的能带结构图。(b) 拉伸应变状态和无应变状态下钙钛矿薄膜与空穴传输层的能带排列图。...
特别是,聚合物膜的动态力学特性,如玻璃化转变温度和存储模量,常被用来评定其在使用温度全域内机械性能的稳定性。通常测试聚合物膜在温度变化时的动态力学特性是有挑战的。标准拉伸测试需要制备独立膜层,这对脆性膜和强力粘附在基材上的膜层来说十分不易。通过微加工工艺可以对MEMS和半导体器件制备出拉伸试样,但这些工艺耗时且测试分辨率局限于小尺度的低刚度聚合物膜。...
通过计算可知,在多晶硅薄膜的中部存在很大的拉伸残余应力(拉曼谱峰值向低波数移动),达到0.84 GPa。4. 应力的拉曼扫描成像某半导体晶圆厂家,采用奥谱天成Optosky的ATR8800型共聚焦显微拉曼光谱扫描成像仪(www.optosky.com),测试晶圆的应力分布情况,经过数据处理后,测得了整个晶圆圆盘的应力分布。...
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