BS EN 62047-3:2006
半导体器件.微机电设备.拉伸测试的薄膜标准试样

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Thin film standard test piece for tensile testing


BS EN 62047-3:2006 发布历史

BS EN 62047-3:2006由英国标准学会 GB-BSI 发布于 2006-11-30,并于 2006-11-30 实施。

BS EN 62047-3:2006 在中国标准分类中归属于: L33 电子设备专用微特电机,在国际标准分类中归属于: 31.080.01 半导体器分立件综合。

BS EN 62047-3:2006 发布之时,引用了标准

  • IEC 62047-2 半导体装置.微型机电装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
  • ISO 17561 精细陶瓷(高级陶瓷、高级工业陶瓷).室温下通过声共振对整块陶瓷弹性模量的试验方法*2016-07-01 更新

* 在 BS EN 62047-3:2006 发布之后有更新,请注意新发布标准的变化。

BS EN 62047-3:2006的历代版本如下:

  • 2006年 BS EN 62047-3:2006 半导体器件.微机电设备.拉伸测试的薄膜标准试样

 

本国际标准规定了一种标准试件,用于保证长度和宽度在1mm以下、厚度在10μm以下的薄膜材料拉伸测试系统的适当性和准确性,这些薄膜材料是微机电系统(MEMS)的主要结构材料。 )、微型机械和类似设备。 本国际标准基于这样的理念:当预先确定的标准试件的拉伸强度所测得的拉伸强度在指定范围内时,拉伸测试系统的适当性和准确性就能得到保证。 它还指定了测试件,以尽量减少测试件之间的特性偏差。

BS EN 62047-3:2006

标准号
BS EN 62047-3:2006
发布
2006年
发布单位
英国标准学会
当前最新
BS EN 62047-3:2006
 
 
引用标准
IEC 62047-2 ISO 17561
被代替标准
05/30104054 DC-2005

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