BS EN 62047-2:2006
半导体器件.微型机电器件.薄膜材料的拉伸试验方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials
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- 标准号
- BS EN 62047-2:2006
- 发布
- 2006年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN 62047-2:2006
- 引用标准
- ISO 6892
- 本标准规定了长宽在1mm以下、厚度在10μm以下的薄膜材料拉伸试验方法，这些薄膜材料是微机电系统（MEMS）、微型机械和类似器件的主要结构材料。 MEMS、微机械和类似设备的主要结构材料具有一些特殊特征，例如典型尺寸为几微米量级、通过沉积制造材料、以及使用蚀刻和光刻通过非机械加工制造测试件。 本国际标准规定了测试方法，可以保证与特殊特性相对应的准确性。