JEDEC JEP144-2002
微电子封装剩余气体分析(RGA)指南

Guideline for Residual Gas Analysis (RGA) for Microelectronic Packages


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标准号
JEDEC JEP144-2002
发布日期
2002年07月01日
实施日期
废止日期
中国标准分类号
L56
发布单位
US-JEDEC
适用范围
This guideline is applicable to hermetically sealed microelectronic components (including discrete semiconductors, monolithic and hybrid microcircuits). Specific cases with unique packaging, materials, or environmental constraints may not find all of the following information and procedures applicable. A compendium of references to reports, papers, and texts, relating to RGA, volatile gasses, and sealed packages is included in Annex D.




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