GOST 25196-1982
真空设备.离子注入设备一般技术要求

Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements

GOST 25196-1982 发布历史

Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жи

GOST 25196-1982由RU-GOST R 发布于 1982，并于 1983-07-01 实施。

GOST 25196-1982在国际标准分类中归属于: 23.160 真空技术。

GOST 25196-1982 发布之时，引用了标准

• GOST 24786-1981 矿山防爆光学仪器.一般技术条件

GOST 25196-1982的历代版本如下：

• 1982年 GOST 25196-1982 真空设备.离子注入设备一般技术要求

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标准号

GOST 25196-1982

发布日期

1982年

实施日期

1983年07月01日

废止日期

无

国际标准分类号

23.160

发布单位

RU-GOST R

适用范围

Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жи

GOST 25196-1982 中可能用到的仪器设备