JIS B9917-5-2008
清洁室使用中的维修和清洁
Maintenance and cleaning in cleanroom operations
- 标准号
- JIS B9917-5-2008
- 发布日期
- 2008年05月20日
- 实施日期
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- C47
- 国际标准分类号
- 13.040.35
- 发布单位
- JP-JISC
- 引用标准
- JIS Z8122 ISO 14644-2-2000
- 适用范围
- この規格は，クリーンルーム運転における管理及び清浄化に関連する基本的要求事項について規定する。