ISO 14644-2:2000
洁净室和相关控制环境 第2部分:与ISO 14644-1连续相配位的检测和监控规范
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1
- 标准号
- ISO 14644-2:2000
- 发布
- 2000年
- 中文版
- GB/T 25915.2-2010 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 替代标准
- ISO 14644-2:2015
- 当前最新
- ISO 14644-2:2015
- 引用标准
- ISO 14644-1:1999 ISO 14644-3
- 适用范围
- ISO 14644 的这一部分规定了对洁净室或洁净区进行定期测试的要求，以证明其持续符合 ISO 14644-1 指定的空气颗粒洁净度分类。 这些要求调用 ISO 14644-1 中描述的测试来对洁净室或洁净区进行分类。 还指定了根据 ISO 14644 本部分的要求进行的附加测试。 还确定了由用户自行决定应用的可选测试。 ISO 14644 的这一部分还规定了洁净室或洁净区（以下简称装置）的监控要求，以提供其持续符合 ISO 14644-1 指定的空气颗粒洁净度分类的证据。
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