DIN 32564-2:2004
微系统用制造设备.术语和定义.第2部分:基本技术和生产
Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 2: Basic technologies and production
说明：
- 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
- 鼠标放置在图上可以看到标题编号；
- 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小；
- 表示标准的节点，可以拖动；
- 绿色表示标准：DIN 32564-2:2004 ， 绿色、红色表示本平台存在此标准，您可以下载或者购买，灰色表示平台不存在此标准；
- 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。
- 标准号
- DIN 32564-2:2004
- 发布
- 2004年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 32564-2:2004-05
- 当前最新
- DIN 32564-2:2004-05
- 被代替标准
- DIN 32564-2:2003
- 本文件定义了与微系统生产所用基本技术相关的术语。 其目的是通过统一词汇来缓解技术问题的沟通。