DIN 32564-2:2004
微系统用制造设备.术语和定义.第2部分:基本技术和生产
Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 2: Basic technologies and production
DIN 32564-2:2004 发布历史
DIN 32564-2:2004由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 2004-05。
DIN 32564-2:2004 在中国标准分类中归属于: N04 基础标准与通用方法，在国际标准分类中归属于: 39.020 精密机械,01.040.39 精密机械、珠宝 (词汇)。
DIN 32564-2:2004的历代版本如下：
- 2004年 DIN 32564-2:2004-05
- 2004年 DIN 32564-2:2004 微系统用制造设备.术语和定义.第2部分:基本技术和生产
- 0000年 DIN 32564-2:2003
本文件定义了与微系统生产所用基本技术相关的术语。 其目的是通过统一词汇来缓解技术问题的沟通。
- 标准号
- DIN 32564-2:2004
- 发布
- 2004年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 32564-2:2004-05
- 当前最新
- DIN 32564-2:2004-05
- 被代替标准
- DIN 32564-2:2003