GB/T 15909-2009
电子工业用气体.硅烷(SiH4)

Gas for electronic industry-Silane


哪些标准引用了GB/T 15909-2009

 

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GB/T 15909-2009



标准号
GB/T 15909-2009
发布日期
2009年10月30日
实施日期
2010年05月01日
废止日期
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
发布单位
CN-GB
引用标准
GB 190-2009 GB/T 3723-1999 GB 5099-1994 GB/T 5832.1-2003 GB 7144-1999 GB/T 8984-2008 GB 11640 GB 14193
被代替标准
GB/T 15909-1995
适用范围
本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。

GB/T 15909-2009系列标准


GB/T 15909-2009 中可能用到的仪器设备





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