GB/T 15909-2009
电子工业用气体.硅烷(SiH4)
Gas for electronic industry-Silane
GBT15909-2009, GB15909-2009
GB/T 15909-2009 发布历史
GB/T 15909-2009由国家质检总局 CN-GB 发布于 2009-10-30，并于 2010-05-01 实施，于 2017-12-01 废止。
GB/T 15909-2009 在中国标准分类中归属于: G86 工业气体与化学气体，在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。
GB/T 15909-2009 电子工业用气体.硅烷(SiH4)的最新版本是哪一版？
最新版本是 GB/T 15909-2017 。
GB/T 15909-2009 发布之时，引用了标准
- GB 11640 铝合金无缝气瓶*， 2011-12-30 更新
- GB 14193 液化气体气瓶充装规定
- GB 190-2009 危险货物包装标志
- GB 5099-1994 钢质无缝气瓶
- GB 7144-1999 气瓶颜色标志
- GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
- GB/T 5832.1-2003 气体湿度的测定 第1部分;电解法
- GB/T 8984-2008 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定.气相色谱法
* 在 GB/T 15909-2009 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
GB/T 15909-2009的历代版本如下：
- 2017年 GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
- 2009年 GB/T 15909-2009 电子工业用气体.硅烷(SiH4)
- 1995年 GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
- 标准号
- GB/T 15909-2009
- 别名
- GBT15909-2009
GB15909-2009 - 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 15909-2017
- 当前最新
- GB/T 15909-2017
- 引用标准
- GB 11640 GB 14193 GB 190-2009 GB 5099-1994 GB 7144-1999 GB/T 3723-1999 GB/T 5832.1-2003 GB/T 8984-2008
- 被代替标准
- GB/T 15909-1995
GB/T 15909-2009相似标准
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