因此,可控制中子辐射损伤和选用合适的退火工艺消除内部缺陷,提高 NTD 硅单晶质量。7. 半导体材料中的动力学现象如扩散和相变具有很重要的意义 用扫描电镜跟踪铝薄膜条在大电流密度下的电迁移行为,便可以得到有关空洞移动和熔化解润失效的细节。此外,利用能谱仪显微分析技术也可以对半导体材料进行各种成分分析。...
因此,可控制中子辐射损伤和选用合适的退火工艺消除内部缺陷,提高 NTD 硅单晶质量。7. 半导体材料中的动力学现象如扩散和相变具有很重要的意义 用扫描电镜跟踪铝薄膜条在大电流密度下的电迁移行为,便可以得到有关空洞移动和熔化解润失效的细节。此外,利用 X 射线显微分析技术也可以对半导体材料进行各种 成分分析。...
2.9 高性能 X 射线敏感元件及在线传感应用 研究内容:针对复杂精密工件内部结构和缺陷在线高精度快速检测困难的问题,研究 X 射线敏感的残影效应和辐射损伤改善方法;研究高分辨率 X 射线敏感元件设计技术,研制高分辨、高帧率的高性能 X 射线敏感元件;研究敏感元件高可靠封装、辐射防护、稳定性提升和高速图像传输等传感应用关键技术;研制高性能 X 射线传感器及工业 X 射线无损检测系统,在复杂型腔结构检测及尺寸测量...
高性能光栅位移传感器开发及应用示范研究内容:研究玻璃、石英、金属及陶瓷基底光栅的超长大幅面、可复制、高精度制造技术;开发超精密、大幅面、多自由度、宽温域的高性能系列光栅位移传感器;研究超高细分技术、信号处理与融合技术以及系统集成技术。完成光栅传感器的技术研发,并在精密制造和高端测量装备中应 用。 ...
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