ISO 13084-2011
表面化学分析.二次离子质谱分析法.飞行时间二次离子质谱仪用质量标度的校准
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary-ion mass spectrometer
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- 标准号
- ISO 13084-2011
- 发布日期
- 2011年05月15日
- 实施日期
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- G04
- 国际标准分类号
- 71.040.40
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 被代替标准
- ISO/DIS 13084-2010
- 适用范围
- This International Standard specifies a method to optimize the mass calibration accuracy in time-of-flight SIMS instruments used for general analytical purposes. It is only applicable to time-of-flight instruments but is not restricted to any particular instrument design. Guidance is provided for some of the instrumental parameters that can be optimized using this procedure and the types of generic peaks suitable to calibrate the mass scale for optimum mass accuracy.