ISO 13084:2011
表面化学分析.二次离子质谱分析法.飞行时间二次离子质谱仪用质量标度的校准
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary-ion mass spectrometer
说明：
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- 标准号
- ISO 13084:2011
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 替代标准
- ISO 13084:2018
- 当前最新
- ISO 13084:2018
- 本国际标准规定了一种优化用于一般分析目的的飞行时间 SIMS 仪器质量校准精度的方法。 它仅适用于飞行时间仪器，但不限于任何特定的仪器设计。 为可以使用此程序优化的一些仪器参数以及适合校准质量标度以获得最佳质量精度的通用峰类型提供了指导。