VDI 2083 Blatt 1-2005
洁净室技术 微粒空气洁净度等级

Cleanroom technology - Particulate air cleanliness classes

2015-04

标准号
VDI 2083 Blatt 1-2005
发布
2005年
发布单位
德国机械工程师协会
替代标准
VDI 2083 Blatt 1-2013
VDI 2083 BLATT 1-2013
当前最新
VDI 2083 Blatt 1-2022
 
 
引用标准
DIN EN ISO 14644-1:1999 DIN EN ISO 14644-2:2001 DIN EN ISO 14644-4:2003 VDI 208 VDI 2083 Blatt 2-1996 VDI 2083 Blatt 3-2004 VDI 2083 Blatt 4-1996 VDI 2083 Blatt 5-1996 VDI 2083 Blatt 6-1996 VDI 2083 Blatt 7-2000 VDI 2083 Blatt 8-2002 VDI 2083 Blatt 9-1991
被代替标准
VDI 2083 Blatt 1-2003
适用范围
该指南以数学、表格和图形形式对洁净室和相关受控环境的空气洁净度进行了分类。该指南专门涵盖了洁净工作场所空气中颗粒物的最大浓度。根据 DIN EN ISO 14644 进行分类后,仅考虑指定尺寸范围 0.1 µm 和 5 µm 内的颗粒。本指南不能用于表征空气中颗粒的物理、化学、放射性或活性性质。

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