DIN EN ISO 14644-2:2001
洁净室和相关控制环境.第2部分:证实与ISO 14644-1(ISO 14644-2:2000) 保持一致的试验和监测规范 德文版本 EN ISO 14644-2:2000
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1 (ISO 14644-2:2000); German version EN ISO 14644-2:2000
- 标准号
- DIN EN ISO 14644-2:2001
- 发布
- 2001年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN ISO 14644-2:2016
- DIN EN ISO 14644-2 E:2010-12
- 当前最新
- DIN EN ISO 14644-2:2016-05
- 被代替标准
- DIN EN ISO 14644-2:1998
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