VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010
微形貌的光学测量 共焦显微镜的校准和粗糙度测量的深度设置标准
Optical measurement of microtopography - Calibration of confocal microscopes and depth setting standards for roughness measurement
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- 标准号
- VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010
- 发布
- 2010年
- 发布单位
- 德国机械工程师协会
- 适用范围
- The guideline describes procedures for the Calibration of confocal microscopes and depth setting standards for roughness measurement and establish thereby the basic for traceability of measuring systems to national standars. First the procedure of determination of the calibration abilities is described. Further basic conditions for the calibration as well as minimum requirements to the calibration procedure are specified. Finally the requirements to the calibration report are specified. A GUM conformal model for the determination of the uncertainty of measurement completes the instructions.
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