JIS B9960-33-2012
机械安全性.机械电气设备.第33部分:半导体制造设备要求

Safety of machinery -- Electrical equipment of machines -- Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

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标准号

JIS B9960-33-2012

发布日期

2012年05月21日

实施日期

2012年05月21日

废止日期

无

中国标准分类号

L95

国际标准分类号

13.110;25.040.30;29.020

发布单位

JP-JISC

引用标准

JIS B9700-2 JIS B9705-1 JIS B9706-1 JIS B9706-2 JIS B9706-3 JIS B9712 JIS B9961 JIS C0445 JIS C0446 JIS C0447 JIS C0448 JIS C0617 JIS C0920 JIS C0922 JIS C1010-1 JIS C6950-1 JIS C8201-3 JIS C60364-4-41 JIS C60364-4-43 JIS C60364-6 JIS C60695-11-10 JIS C61558-1 JIS C61558-2-6 IEC 60034-11-2004 IEC 60038 IEC 60072 IEC 60417 IEC 61508-3 IEC 61557-3-2007 IEC 61800-5-1-2007

适用范围

This Standard applies to electrical and electronic equipment (see definition 3.20) associated with semiconductor fabrication equipment (see definition 3.28) for the manufacture,measurement,assembly,and test of semiconductors.

JIS B9960-33-2012系列标准

JIS B9960-33-2012 中可能用到的仪器设备