JIS B9960-33-2012
机械安全性.机械电气设备.第33部分:半导体制造设备要求

Safety of machinery -- Electrical equipment of machines -- Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

JIS B9960-33-2012 发布历史

This Standard applies to electrical and electronic equipment (see definition 3.20) associated with semiconductor fabrication equipment (see definition 3.28) for the manufacture,measurement,assembly,and test of semiconductors.

JIS B9960-33-2012由日本工业标准调查会 JP-JISC 发布于 2012-05-21，并于 2012-05-21 实施。

JIS B9960-33-2012 在中国标准分类中归属于: L95 电子工业生产设备综合，在国际标准分类中归属于: 13.110 机械安全,25.040.30 工业机器人、机械手,29.020 电气工程综合。

JIS B9960-33-2012 发布之时，引用了标准

• JIS B9700-2 机械安全.基本概念和设计一般原理.第2部分:技术原理
• JIS B9705-1 机械安全性. 控制系统的安全性相关部件. 第1部分: 设计的一般原理*， 2019-05-25 更新
• JIS B9706-1 机械安全性.指示、标记和传动.第1部分:视觉、听觉和触觉信号的要求
• JIS B9706-2 机械安全性.指示、标记和传动.第2部分:标记的要求
• JIS B9706-3 机械安全性.指示、标记和传动.第3部分:传动装置的位置和操作用要求
• JIS B9712 机械安全.双手控制设备.功能方面和设计原理
• JIS B9961 机械安全.与安全有关的电气、电子和可编程电子控制系统的功能安全
• JIS C0445 设备端子和一些带标记导线终端的标记方法,包括字母数字顺序系统的一般规则
• JIS C0446 导线用颜色和数字的标记
• JIS C0447 人机界面(MMI).致动原则
• JIS C0448 用颜色和辅助手段对指示设备和调节器的编码
• JIS C0617 简图用图形符号.第9部分:远程通信:开关和外围设备
• JIS C0920 外壳提供的防护等级(IP代码)
• JIS C0922 电气设备通过其外壳对人体和设备提供的保护.验证用探测器
• JIS C1010-1 测量、控制和实验室用电气设备的安全性要求. 第1部分: 通用要求*， 2019-03-20 更新
• JIS C6950-1 JIS C6950-1-2016 1875
• JIS C8201-3 低压开关装置和控制装置.第3部分:开关、断路器、开关断路器和保险丝组合装置
• JIS C60364-6 建筑物的电气装置.第6-61部分:校验.初始校验
• JIS C61558-1 *， 2019-03-20 更新
• JIS C61558-2-6 电源电压1100 V以下的变压器,反应器,电源装置和类似产品的安全性.第2-6部分:安全隔离变压器及带有安全隔离变压器的电源装置的详细要求和试验
• IEC 60034-11-2004 旋转电机.第11部分:热防护
• IEC 60038 修改件1——IEC标准电压*， 2021-12-15 更新
• IEC 60072 旋转电机的尺寸和输出系列第3部分:小型内置电机 - 法兰编号BF10到BF50
• IEC 60417 设备用图形符号
• IEC 61508-3 电气、电子、程序可控的电子安全相关系统的功能性安全.第3部分:软件要求
• IEC 61557-3-2007 1000V交流和小于1500V直流低压配电系统中的电气安全性.防护措施的试验、测量和监控设备.第3部分:回路阻抗
• IEC 61800-5-1-2007 可调速电力传动系统.第5-1部分:安全要求.电、热和能量

* 在 JIS B9960-33-2012 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。

JIS B9960-33-2012的历代版本如下：

• 2012年05月21日 JIS B9960-33-2012 机械安全性.机械电气设备.第33部分:半导体制造设备要求

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标准号

JIS B9960-33-2012

发布日期

2012年05月21日

实施日期

2012年05月21日

废止日期

无

中国标准分类号

L95

国际标准分类号

13.110;25.040.30;29.020

发布单位

JP-JISC

引用标准

JIS B9700-2 JIS B9705-1 JIS B9706-1 JIS B9706-2 JIS B9706-3 JIS B9712 JIS B9961 JIS C0445 JIS C0446 JIS C0447 JIS C0448 JIS C0617 JIS C0920 JIS C0922 JIS C1010-1 JIS C6950-1 JIS C8201-3 JIS C60364-4-41 JIS C60364-4-43 JIS C60364-6 JIS C60695-11-10 JIS C61558-1 JIS C61558-2-6 IEC 60034-11-2004 IEC 60038 IEC 60072 IEC 60417 IEC 61508-3 IEC 61557-3-2007 IEC 61800-5-1-2007

适用范围

This Standard applies to electrical and electronic equipment (see definition 3.20) associated with semiconductor fabrication equipment (see definition 3.28) for the manufacture,measurement,assembly,and test of semiconductors.

JIS B9960-33-2012系列标准

JIS B9960-33-2012 中可能用到的仪器设备