VDI 2083 Blatt 3.1-2012
洁净室技术 洁净室空气中的计量学 监测
Cleanroom technology - Metrology in cleanroom air - Monitoring
- 标准号
- VDI 2083 Blatt 3.1-2012
- 发布
- 2012年
- 发布单位
- 德国机械工程师协会
- 当前最新
- VDI 2083 Blatt 3.1-2012
- 引用标准
- DIN EN 12599:2000 DIN EN 12599:2011 DIN EN IS DIN EN ISO 14644-1:1999 DIN EN ISO 14644-1:2010 DIN EN ISO 14644-2:2001 DIN EN ISO 14644-2:2010 DIN EN ISO 14644-3:2006 DIN EN ISO 14644-4:2003 DIN EN ISO 14644-7:2005 DIN EN ISO 7726:2002 DIN EN ISO 9000:2005
- 被代替标准
- VDI 2083 Blatt 3.1-2011
- 适用范围
- 本指南涉及受控环境的各个参数的永久安装特定监控。监测可以是连续的（压力、温度、湿度）或顺序的（微生物学）。该指南适用于经典监测，即参数的永久检查，但不适用于出于资格目的的定期测量。该指南没有具体说明微生物技术。它指定了洁净室安装的测量方法和所需的仪器，以定义标准。有关监测测量的规范旨在帮助用户选择方法，从而确定操作期间与安装和过程相关的要求偏差。该指南不适用于存储要定期读取的数据的数据记录器。另一方面，不排除立即将数据移交给主系统的数据记录器，即仅用作传感器的记录器。
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