ISO14644-14 根据悬浮颗粒物浓度评估设备使用的适用性 2016 指定设备在洁净室和相关受控环境中适用性的评估方法 ISO14644-15 通过悬浮化学物浓度评估设备和材料的适用性 2017 将用于洁净室及其相关受控环境中的设备和材料引起的化学物洁净度提出要求和指南 ISO14644-16 提高洁净室和净化设备能效的实施指南 ...
其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T25915.1—2021 洁净室及相关受控环境 第 1 部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级( ISO14644-1:2015,MOD)注: GB/T25915.1—2021 被引用的内容与 ISO14644-1:2015 被引用的内容没有技术上的差异。...
2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 基本 3.1.1 洁净室 cleanroom 空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间,其设计、建造到运行均使进入、产生、滞留于房间的粒子受控。 ...
•EN ISO 14644-2:洁净室和相关的受控环境第2部分:测试和监测规范,以证明其继续符合ISO 14644-1。国际标准化组织ISO,日内瓦和欧洲标准化委员会(2000年9月)。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号