BS ISO 16413-2013
采用X射线反射计对薄膜厚度, 密度和接口宽度的评估. 仪器要求. 校准和定位, 数据收集, 数据分析和报告

Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry. Instrumental requirements alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

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标准号

BS ISO 16413-2013

发布日期

2013年03月31日

实施日期

2013年03月31日

废止日期

无

中国标准分类号

A52

国际标准分类号

35.240.70;71.040.40

发布单位

GB-BSI