YS/T 837-2012
溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
YS/T 837-2012 发布历史
本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等，该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。 本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
YS/T 837-2012由行业标准-有色金属 CN-YS 发布于 2012-11-07，并于 2013-03-01 实施。
YS/T 837-2012 在中国标准分类中归属于: H26 金属无损检验方法,H68 贵金属及其合金，在国际标准分类中归属于: 77.120.99 其他有色金属及其合金。
YS/T 837-2012 发布之时，引用了标准
- GB 5226.1 GB 5226.1-2019
- GB/T 9445 无损检测 人员资格鉴定与认证*， 2015-12-10 更新
- GB/T 11259 无损检测 超声检测用钢参考试块的制作和控制方法*， 2015-10-09 更新
- GB/T 12604.1 无损检测 术语 超声检测*， 2020-11-19 更新
- GB/T 17421.1 机床检验通则.第1部分:在无负荷或精加工条件下机床的几何精度
- GB/T 17421.2 机床检验通则 第2部分:数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定*， 2016-04-25 更新
- GB/T 18400.6 加工中心 检验条件 第6部分;进给率、速度和插补精度检验
- GB/T 18694 无损检测 超声检验 探头及其声场的表征
- GB/T 18852 无损检测 超声检测 测量接触探头声束特性的参考试块和方法*， 2020-11-19 更新
- GJB 1580A GJB 1580A-2019
- GJB 9712A 无损检测人员资格鉴定与认证
- JB/T 8771.4 加工中心.检验条件.第4部分:线性和回转轴线的定位精度和重复定位精度检验
- JB/T 9269 工业控制计算机系统安装环境条件
* 在 YS/T 837-2012 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
YS/T 837-2012的历代版本如下：
- 2012年11月07日 YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
- 标准号
- YS/T 837-2012
- 发布日期
- 2012年11月07日
- 实施日期
- 2013年03月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H26;H68
- 国际标准分类号
- 77.120.99
- 发布单位
- 行业标准-有色金属
- 引用标准
- GB 5226.1 GB/T 9445 GB/T 11259 GB/T 12604.1 GB/T 17421.1 GB/T 17421.2 GB/T 18400.6 GB/T 18694 GB/T 18852 GJB 1580A GJB 9712A JB/T 8771.4 JB/T 9269
- 适用范围
- 本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等，该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。 本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。