YS/T 937-2013
镍铂靶材

Nickel-platinum target

YST937-2013, YS937-2013


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YS/T 937-2013

标准号
YS/T 937-2013
别名
YST937-2013
YS937-2013
发布
2013年
发布单位
行业标准-有色金属
当前最新
YS/T 937-2013
 
 
引用标准
GB/T 1031 GB/T 14265 GB/T 15077 GB/T 6394 GJB 1580A YS/T 837
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。

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