YS/T 937-2013
镍铂靶材
Nickel-platinum target
YS/T 937-2013 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- YS/T 937-2013
- 发布日期
- 2013年10月17日
- 实施日期
- 2014年03月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H68
- 国际标准分类号
- 77.150.99
- 发布单位
- CN-YS
- 引用标准
- GB/T 1031 GB/T 6394 GB/T 14265 GB/T 15077 GJB 1580A YS/T 837
- 适用范围
- 本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。