X21-013-2012 微光束分析.电子探针微量分析(EPMA).应用波长色散光谱学进行元素映射分析方法 NF X21-009-2008 微光束分析.电子探针微量分析(EPMA).词汇 NF A92-801-4-2006 高级工业陶瓷.陶瓷涂层的试验方法.第4部分:使用电探针微量分析法(EPMA)测量化学成分 德国标准化学会,关于epma 制样的标准 DIN EN 1071-4-2006...
以聚焦的高速电子来激发出试样表面组成元素的特征X射线,对微区成分进行定性或定量分析的一种材料物理试验,又称电子探针X射线显微分析。电子探针分析的原理是:以动能为10~30千电子伏的细聚焦电子束轰击试样表面,击出表面组成元素的原子内层电子,使原子电离,此时外层电子迅速填补空位而释放能量,从而产生特征X射线。...
以电子探针显微分析(ESMA)为例:用高能电子束照射样品表面,离表面约几微米处的原子将被激发产生特征X 射线,这种X 射线的分析既可以用能量色散光谱仪(EDS,简称能谱仪),也可用波长色散光谱仪(WDS,简称波谱仪)。...
其方法是,先利用能发出荧光的材料(如ZrO2)置于电子束轰击下,这是就能观察到电子束轰击点的位置,通过样品移动装置把它调到光学显微镜目镜十字线交叉点上,这样就能保证电子束正好轰击在分析点上,同时也保证了分析点处于X射线分光谱仪的正确位置上。在电子探针上大多使用的光学显微镜是同轴反射式物镜,其优点是光学观察和X射线分析可同时进行。放大倍数为100-500倍。...
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