GB/T 30652-2014
硅外延用三氯氢硅
Trichlorosilane for silicon epitaxial
GBT30652-2014, GB30652-2014
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- 标准号
- GB/T 30652-2014
- 别名
- GBT30652-2014
GB30652-2014 - 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 30652-2014
- 引用标准
- GB 16483 GB 190 GB 28654 GB/T 191 GB/T 29056 YS/T 987 国务院令第591号 危险化学品安全管理条例
- 适用范围
- 本标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单(或合同)内容。本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅(以下简称产品)。