GB/T 30652-2014
硅外延用三氯氢硅
Trichlorosilane for silicon epitaxial
GBT30652-2014, GB30652-2014
GB/T 30652-2014 发布历史
本标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单(或合同)内容。本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅(以下简称产品)。
GB/T 30652-2014由国家质检总局 CN-GB 发布于 2014-12-31，并于 2015-09-01 实施。
GB/T 30652-2014 在中国标准分类中归属于: H83 化合物半导体材料，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
GB/T 30652-2014 发布之时，引用了标准
- GB 16483 化学品安全技术说明书编写规定
- GB 190 危险货物包装标志
- GB 28654 工业三氯氢硅
- GB/T 191 包装储运图示标志
- GB/T 29056 硅外延用三氯氢硅化学分析方法.硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
- YS/T 987 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法*， 2021-12-02 更新
* 在 GB/T 30652-2014 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
GB/T 30652-2014的历代版本如下：
- 2014年 GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
- 标准号
- GB/T 30652-2014
- 别名
- GBT30652-2014
GB30652-2014 - 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 30652-2014
- 引用标准
- GB 16483 GB 190 GB 28654 GB/T 191 GB/T 29056 YS/T 987 国务院令第591号 危险化学品安全管理条例