GB/T 30656-2014
碳化硅单晶抛光片

Polished monocrystalline silicon carbide wafers

GB/T 30656-2014 中，可能用到以下仪器

 

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Emma系列X射线衍射仪

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GB/T 30656-2014

标准号
GB/T 30656-2014
发布日期
2014年12月31日
实施日期
2015年09月01日
废止日期
无
中国标准分类号
H83
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
适用范围
本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。

GB/T 30656-2014系列标准

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GB/T 30656-2014 中可能用到的仪器设备

工业显微镜/工具显微镜 光源/氙灯光源/汞灯光源 X射线衍射仪(XRD) 光纤光谱仪 ICP-MS 电镜制样设备 气质联用仪 核磁共振波谱仪 同位素质谱仪 扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM 硬度计 纳米压痕仪、划痕仪 工业CT 洗瓶机、清洗机 抛光机/磨抛机/磨样机


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