GB/T 30656-2014
碳化硅单晶抛光片
Polished monocrystalline silicon carbide wafers
GBT30656-2014, GB30656-2014
2023-10
- 标准号
- GB/T 30656-2014
- 别名
- GBT30656-2014
GB30656-2014 - 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 30656-2023
- 当前最新
- GB/T 30656-2023
- 引用标准
- DIN 50448 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 1555 GB/T 29505 GB/T 29507 GB/T 31351 GB/T 6616 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6624
- 本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。
GB/T 30656-2014相似标准
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