SJ/T 11493-2015
硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法

Test method for measuring nitrogen concentration in silicon substrates by secondary ion mass spectrometry


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SJ/T 11493-2015



标准号
SJ/T 11493-2015
发布日期
2015年04月30日
实施日期
2015年10月01日
废止日期
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准规定了用二次离子质谱法(SIMS)对硅衬底单晶体材料中氮总浓度的测试方法。本标准适用于锑、砷、磷的掺杂浓度<0.2% (1×1020 at·cm-3)的单晶样品,其中氮的浓度大于等于1×1014 at ? cm-3

SJ/T 11493-2015 中可能用到的仪器设备





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