本标准规定了用二次离子质谱法(SIMS)对硅衬底单晶体材料中氮总浓度的测试方法。本标准适用于锑、砷、磷的掺杂浓度
SJ/T 11493-2015由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 2015-04-30,并于 2015-10-01 实施。
SJ/T 11493-2015 在中国标准分类中归属于: H82 元素半导体材料,在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
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