SJ/T 11507-2015
集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液

Oxide coating etching buffer for integrated circuit


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SJ/T 11507-2015



标准号
SJ/T 11507-2015
发布日期
2015年04月30日
实施日期
2015年10月01日
废止日期
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准规定了集成电路用氧化层缓冲腐蚀液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用氧化层缓冲腐蚀液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。

SJ/T 11507-2015 中可能用到的仪器设备





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