SJ/T 11507-2015
集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液

Oxide coating etching buffer for integrated circuit

SJ/T 11507-2015 中，可能用到以下仪器

 

在线质谱仪

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上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

赛多利斯 Arium® Pro 超纯水系统

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德国赛多利斯集团

 

赛多利斯 Arium® Comfort II 超纯水系统

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德国赛多利斯集团

 

赛多利斯 Arium® Advance EDI 纯水系统

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德国赛多利斯集团

 

默克Milli-Q RiOs-DI 分析级纯水系统

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默克生命科学

 

默克Milli-Q Super-Q 试剂级超纯水系统

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默克生命科学

 

MILLIPORE密理博超纯水系统Synergy

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上海人和科学仪器有限公司

 

崂应2031型 智能大流量TSP(PM10)采样器（定向）

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青岛崂山应用技术研究所

 

SJ/T 11507-2015

标准号
SJ/T 11507-2015
发布日期
2015年04月30日
实施日期
2015年10月01日
废止日期
无
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准规定了集成电路用氧化层缓冲腐蚀液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用氧化层缓冲腐蚀液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。

SJ/T 11507-2015 中可能用到的仪器设备

pH计 纯水器/超纯水器/纯水机/超纯水机 分散机 基因/DNA测序仪 蛋白质纯化系统 氨氮测定仪 气体采样器/大气采样器 辐射仪/射线检测仪 离子检测仪


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