非常抱歉,我们暂时无法提供预览,您可以试试: 免费下载 BS EN 62047-16:2015 前三页,或者稍后再访问。
如果您需要购买此标准的全文,请联系: 。
点击下载后,生成下载文件时间比较长,请耐心等待......
照片22、MEMS器件及表面缺陷(微型机电系统)MEMS是在半导体技术基础上发展起来的一门新型科学技术,涉及各学科的交叉及多种工艺的应用。MEMS电路大多数都是由复合薄膜构成,通过薄膜腐蚀及牺牲层释放实现。因为在工艺过程中产生残余应力,造成结构形状、尺寸发生变化,过大的残余应力致使MEMS器件发生翘曲破坏,研究MEMS器件残余应力是相当重要的问题。...
-2006 可靠性试验.恒定失效率和恒定失效强度的符合性试验BS EN 60749-30-2005+A1-2011 半导体装置.机械和气候耐受性试验方法.非密闭式表面安装设备可靠性试验前预处理BS EN 60749-30-2005 半导体器件.机械和气候试验方法.第30部分:可靠性测试之前非气密表面安装器件的预调试BS EN 62309-2004 含可再用部件的产品的可靠性.功能和试验的要求BS EN...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号